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一种兰姆波谐振器
本发明提供了一种兰姆波谐振器，属于谐振器技术领域。本发明中兰姆波谐振器自上而下包括叠层设置的谐振器盖帽、谐振器主体与谐振器支撑体，所述谐振器支撑体与谐振器主体连接形成第一空腔，所述谐振器盖帽与谐振器主体连接形成第二空腔；...
梁骥邹洁唐供宾
一种兰姆波谐振器
本发明提供了一种兰姆波谐振器，属于谐振器技术领域。本发明中兰姆波谐振器自上而下包括叠层设置的谐振器盖帽、谐振器主体与谐振器支撑体，所述谐振器支撑体与谐振器主体连接形成第一空腔，所述谐振器盖帽与谐振器主体连接形成第二空腔；...
梁骥邹洁唐供宾
一种兰姆波谐振器
本发明属于射频微机电系统技术领域，具体涉及一种兰姆波谐振器。本发明首先在兰姆波谐振器底部设置布拉格反射层，用以反射谐振器底部泄露的能量，同时提高谐振器机械稳定性与功率容量；其次将电极与压电层分开悬空设置，悬空电极不与压电...
帅垚姚佳林吴传贵罗文博张万里
一种兰姆波器件及其制备方法
本发明涉及微电子器件技术领域，本发明公开了一种兰姆波器件及其制备方法。该兰姆波器件包括由下至上依次设置的支撑衬底、布拉格反射层、压电薄膜和叉指电极结构；该布拉格反射层包括交替层叠的低声阻抗层和高声阻抗层；该叉指电极结构包...
欧欣房晓丽郑鹏程张师斌张丽萍
兰姆波谐振器及其制造方法
本发明的兰姆波谐振器包括：衬底；压电层，层叠在衬底上，压电层的第一主面与兰姆波的传播方向平行；以及叉指电极，具有多个设置在压电层的第一主面上的电极指，多个电极指在压电层的第一主面上延伸的方向与兰姆波的传播方向垂直，在压电...
李红浪许欣
兰姆波谐振器及其制备方法
本发明涉及射频滤波器技术领域，具体涉及一种兰姆波谐振器及其制备方法。所述兰姆波谐振器包括自下而上的衬底，叉指底电极、压电层和叉指顶电极；所述衬底上刻蚀有空腔；所述压电层未被叉指顶电极覆盖的表面有反射金属层；所述压电层具有...
李国强
兰姆波谐振器及滤波器
本发明提供一种兰姆波谐振器及滤波器，通过调控局部薄膜的厚度来改善声阻抗的匹配性，包括在第一材料区中的压电薄膜中设置凹槽，或在第二材料区中的压电薄膜下方形成介质层，以对由叉指电极构成的具有厚度差的兰姆波谐振器进行局部厚度调...
欧欣隋东辰郑鹏程吴进波张师斌
一种悬空型的兰姆波器件
本发明涉及一种悬空型的兰姆波器件，通过使用非极化a面氮化铝(AlN的C轴位于器件平面)，基于声表面波的电极结构激发S0模式即可达到与传统FBAR结构相近的机电耦合系数，可实现由光刻尺寸定义的谐振频率，且由于AlN的高声速...
欧欣房晓丽张师斌郑鹏程孙米静
兰姆波谐振器及其制作方法
本申请提供一种兰姆波谐振器及其制作方法，该兰姆波谐振器包括衬底、压电薄膜及叉指换能器，其中，压电薄膜位于衬底上方，叉指换能器位于压电薄膜上方，叉指换能器包括多个在第一方向间隔排列并沿第二方向延伸的叉指电极，第二方向垂直于...
邵率
一种兰姆波谐振器及其制备方法
本申请公开了一种兰姆波谐振器及其制备方法，其中，兰姆波谐振器包括：衬底结构，其表面形成有空气腔室；兰姆波谐振结构，其包括压电振动结构，位于压电振动结构上表面的叉指电极，及位于压电振动结构下表面的底部平板电极；所述兰姆波谐...
赵继聪诸政孙海燕施佺宋晨光
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吴斌
作品数：1,086被引量：2,772H指数：27
供职机构：北京工业大学
研究主题：超声导波 无损检测 导波 传感器 模态
何存富
作品数：1,114被引量：2,696H指数：26
供职机构：北京工业大学
研究主题：超声导波 无损检测 导波 传感器 模态
张海燕
作品数：139被引量：412H指数：13
供职机构：上海大学通信与信息工程学院
研究主题：兰姆波 超声检测 LAMB波 超声兰姆波 层析成像
焦敬品
作品数：321被引量：1,081H指数：19
供职机构：北京工业大学
研究主题：无损检测 混频 传感器 超声导波 兰姆波
卢超
作品数：296被引量：907H指数：16
供职机构：南昌航空大学
研究主题：超声 超声检测 无损检测 超声相控阵 EMAT