搜索到 篇“ 压电薄膜 “的相关文章

相关作者

欧欣
作品数：338被引量：9H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：衬底 缺陷层 键合 压电薄膜 谐振器
黄凯
作品数：112被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：缺陷层 衬底 键合 压电薄膜 热应力
金家楣
作品数：535被引量：150H指数：7
供职机构：南京航空航天大学
研究主题：压电驱动 压电 超声电机 椭圆运动 贴片式
王亮
作品数：445被引量：190H指数：7
供职机构：南京航空航天大学
研究主题：压电驱动 压电 贴片式 压电作动器 椭圆运动
乔东海
作品数：299被引量：79H指数：5
供职机构：苏州大学
研究主题：硅 薄膜体声波谐振器 振动膜 原子钟 运算跨导放大器