搜索到 篇“ 厚胶光刻 “的相关文章

相关作者

郭永康
作品数:137被引量:575H指数:14
供职机构:四川大学物理科学与技术学院
研究主题:光刻 全息图 惯性约束聚变 分数傅里叶变换 干涉光刻
杜惊雷
作品数:122被引量:336H指数:10
供职机构:四川大学
研究主题:光刻 干涉光刻 手性 光学邻近校正 DMD
唐雄贵
作品数:86被引量:159H指数:7
供职机构:湖南师范大学
研究主题:波导型 波导 集成光学 电光效应 波导结构
温圣林
作品数:60被引量:105H指数:7
供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题:磁流变 惯性约束聚变 大口径 磁流变抛光 焦斑
刘世杰
作品数:195被引量:239H指数:9
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻 光学元件 参考光 偏振片 衍射效率