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圆检测
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排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
相关度排序
相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
晶
圆
检测
装置
本实用新型公开了一种晶
圆
检测
装置包括:底座、
检测
组件、横向移动组件及纵向移动组件,底座上开设有
检测
通孔;
检测
组件包括第一CCD
检测
模组及第二CCD
检测
模组,
检测
通孔位于第一CCD
检测
模组与第二CCD
检测
模组之间;横向移动...
戴焕超
赖玉强
陆曙明
黄盛庆
冼家铖
晶
圆
检测
装置
本实用新型提供了一种晶
圆
检测
装置。所述晶
圆
检测
装置包括:底座;多个夹板,多个所述夹板设置于所述底座上,相邻的两个所述夹板之间形成一个插槽,每个所述插槽用于插入一个待测晶
圆
;电容传感器,所述电容传感器包括第一极板和第二极板...
常乐伟
张伟
李立
晶
圆
检测
装置
本申请提供了一种晶
圆
检测
装置,所述晶
圆
检测
装置包括基座、光源、感光器件、以及数据处理单元。所述基座用于放置晶
圆
;所述光源,设置于所述基座上方,照射所述晶
圆
;所述感光器件,设置于所述基座上方,采集所述晶
圆
表面的反射光线信息...
李刚
许平康
袁纯真
晶
圆
检测
装置
本发明公开了一种晶
圆
检测
装置。该晶
圆
检测
装置包括机架、两条传送轨道及支撑组件,机架上设有多个工位;两条传送轨道中至少一条传送轨道呈活动设置,使得两条传送轨道可相互靠近和相互远离;支撑组件包括支撑部,且支撑部上设有
检测
孔,...
杨勇
晶
圆
检测
装置
本实用新型属于晶
圆
检测
技术领域,尤其涉及一种晶
圆
检测
装置。该晶
圆
检测
装置包括载台、加热组件、
检测
件和感应组件,载台用于承载晶
圆
,载台能带动晶
圆
旋转,加热组件包括加热片和线缆,加热片设于载台上,用于加热晶
圆
,加热片通过线缆...
高为达
相宇阳
俞胜武
陈剑
晶
圆
检测
装置
本申请提供一种晶
圆
检测
装置,涉及晶
圆
检测
设备技术领域。该晶
圆
检测
装置包括光源和罩体,罩体包括
圆
弧面部和配合部,
圆
弧面部盖设于光源,配合部连接于
圆
弧面部,以经过
圆
弧面部曲率
圆
心的基准面截面罩体,
圆
弧面部截面的弧端至弧顶连线...
彭亮
贾钊
胡恒广
晶
圆
检测
设备
本实用新型涉及晶
圆
检测
技术领域,具体涉及一种晶
圆
检测
设备,包括固定底座、支撑架、
检测
头和
检测
台,还包括除尘组件,除尘组件包括连接座、喷头、支撑座、吸尘罩、喷气构件、吸气构件和转动构件,连接座与固定底座固定连接,喷头与连接...
郭鸿飞
杨写
杨苏凤
一种外
圆
检测
装置
本实用新型属于
检测
装置技术领域,且公开了一种外
圆
检测
装置,包括
检测
台,所述
检测
台上设有
检测
组件和放置组件,所述
检测
组件包括摄像
检测
部分和激光
检测
部分,所述放置组件包括放置台和套柱,所述放置台固定于
检测
台上端面,所述套柱上...
汪逸民
陈智
周天宏
一种晶
圆
检测
设备
本实用新型涉及晶
圆
检测
技术领域,具体涉及一种晶
圆
检测
设备。晶
圆
检测
设备包括晶
圆
边缘
检测
装置、晶
圆
表面
检测
装置和机械手;晶
圆
边缘
检测
装置、晶
圆
表面
检测
装置设于机械手的旁侧。晶
圆
边缘
检测
装置用于
检测
晶
圆
边缘瑕疵,晶
圆
表面
检测
...
吴坤
王志铭
一种晶
圆
检测
装置
本发明涉及晶
圆
检测
技术领域,具体涉及一种晶
圆
检测
装置。包括:夹持组件,可移动设置在清洗区域,所述夹持组件适于对晶
圆
进行固定;第一
检测
组件,适于
检测
夹持组件上的晶
圆
;第二
检测
组件,设置在夹持组件上,所述第一
检测
组件位于所述...
林俊韩
李伟
尹影
李婷
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H指数:41
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