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具有可调的高垂直磁各向异性的磁隧道结
本公开内容的实施方式提供了用于从设置在基板上的膜堆叠形成磁隧道结(MTJ)结构的方法，以用于磁随机存取存储器(MRAM)应用和相关联的MTJ器件。本文描述的方法包括从膜堆叠形成材料层的膜特性以产生具有足够高垂直磁各向异性...
薛林程志康王晓东马亨德拉·帕卡拉汪荣军
不同衬底沉积的Co/Pt多层膜及Co层厚度对其垂直磁各向异性的影响
2024年
采用直流磁控溅射方法,分别在100μm厚的聚偏氟乙烯(PVDF)、聚酰亚胺(PI)和Si衬底上沉积Ta(2 nm)/Pt(20 nm)[Co(t)/Pt(0.5 nm)]4/Pt(1.5 nm)的磁性多层膜。考察了Co层厚度及刚性Si、柔性PVDF和PI衬底对Co/Pt多层膜垂直磁各向异性的影响。结果表明,Co/Pt多层膜的垂直磁各向异性随着Co的厚度增大而减弱,表现为磁畴尺寸随Co的厚度增大而减小。通过对比生长在刚性衬底与柔性衬底上的Co/Pt多层膜的磁各向异性常数、矫顽力、磁畴尺寸,发现制备的柔性Co/Pt多层膜仍保持优异的垂直磁各向异性,其垂直磁各向异性与刚性衬底上生长的薄膜相近。
李梦超杨华礼
关键词：垂直磁各向异性柔性衬底磁畴
一种基于倾斜垂直磁各向异性TbCo薄膜及制备方法
本发明公开了一种基于倾斜垂直磁各向异性TbCo薄膜及制备方法。本发明可以简单分成三层：缓冲层、合金层和保护层。通过共溅射工艺的优化，以及Tb和Co溅射功率的调节，可以实现TbCo垂直各向异性的控制，实现倾斜垂直各向异性。...
庄燕山骆泳铭周铁军冯重舒于长秋
具有可调的高垂直磁各向异性的磁隧道结
本公开内容的实施方式提供了用于从设置在基板上的膜堆叠形成磁隧道结(MTJ)结构的方法，以用于磁随机存取存储器(MRAM)应用和相关联的MTJ器件。本文描述的方法包括从膜堆叠形成材料层的膜特性以产生具有足够高垂直磁各向异性...
薛林 程志康 王晓东 马亨德拉·帕卡拉 汪荣军
具有垂直磁各向异性的多层磁性金属薄膜及方法
公开了一种具有垂直磁各向异性的多层磁性金属薄膜及方法，多层磁性金属薄膜中，衬底为热氧化的单晶硅片，缓冲层层叠于所述衬底上，所述缓冲层为Ti/Pt、Ta/Pt或Ru/Pt，Ti、Ta或Ru层，厚度为2‑4nm，[Co/Pt...
李桃陈博原徐美玲侯飞雁周雪闵泰
一种具有垂直磁各向异性的高矫顽力硬磁氧化物半导体薄膜及其制备方法
本发明公开了一种具有垂直磁各向异性的高矫顽力硬磁氧化物半导体薄膜及其制备方法，本发明采用多靶交替制备梯度薄膜的工艺，使用NiFeO4和NiCo2O4靶材交替溅射制备出NiCo2‑xFexO4‑NiCo2O4梯度薄膜。实验...
周柯金庆忍卢柏桦王晓明莫枝阅秦丽文
CoHf多层膜的垂直磁各向异性及电输运性能研究
垂直磁记录方式具有热稳定性好、存储密度高以及磁化翻转临界电流密度低等特点,因此具有垂直磁各向异性(PMA)的薄膜被广泛应用于高密度的存储器件中。铁磁材料所具有的PMA和反常霍尔效应(AHE)具有潜在的物理意义与实践应用,...
晁莹莹
关键词：垂直磁各向异性反常霍尔效应
CoHf合金多层薄膜垂直磁各向异性及多阻态的研究
随着物联网、云计算、人工智能、大数据等新兴技术的不断发展,人们对信息存储的高密度、高速度和非易失性存储提出了更高的要求。垂直磁存储相较于水平磁存储有良好热稳定性、高存储密度等特点,因此具有垂直磁各向异性(PMA)的薄膜被...
蔡万超
关键词：垂直磁各向异性
可调控Co<Sub>2</Sub>FeX合金垂直磁各向异性的磁性薄膜材料及方法
本发明属于磁性薄膜领域，尤其涉及一种可调控Co<Sub>2</Sub>FeX合金垂直磁各向异性的磁性薄膜材料及方法：该磁性薄膜材料包括：基底、缓冲层、磁性层、氧化物层和保护层，磁性层的磁性材料为断裂式的Co<Sub>2<...
李明华陈宇许铭扬李阔刘沛桥张垚于广华
磁异质结垂直磁各向异性和自旋轨道力矩相关研究
罗需明
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相关作者

于广华
作品数：224被引量：244H指数：8
供职机构：北京科技大学
研究主题：各向异性磁电阻 多层膜 垂直磁各向异性 磁性薄膜 自旋阀
李宝河
作品数：100被引量：178H指数：8
供职机构：北京工商大学
研究主题：垂直磁各向异性 多层膜 反常霍尔效应 磁控溅射 PT
赵建华
作品数：130被引量：64H指数：3
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：分子束外延 MN 稀磁半导体 GA 半导体
姜勇
作品数：117被引量：69H指数：4
供职机构：北京科技大学
研究主题：自旋阀 稀土 铁磁层 垂直磁各向异性 氧化物
冯春
作品数：66被引量：47H指数：5
供职机构：北京科技大学
研究主题：FEPT 垂直磁各向异性 附加装置 多层膜结构 磁性薄膜