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多晶硅生产系统
本实用新型公开了一种多晶硅生产系统，属于半导体制造技术领域，所述多晶硅生产系统包括：还原反应装置，所述还原反应装置具有炉体，所述炉体上设有预热孔；等离子体加热装置，所述等离子体加热装置适于通过所述预热孔向所述炉体内输出等...
高国翔吴鹏姜浩单顺林温永偲
一种多晶硅蚀刻液
本发明涉及一种多晶硅蚀刻液，多晶硅蚀刻液包含按质量百分数计的以下组分：0.1~2.38%季铵盐类化合物，1~40%醇胺类化合物，1~40%多元醇类化合物，0.1~2%蚀刻促进剂，余量为去离子水。上述各组份重量份总和为10...
贺兆波杨陈宗尹印叶瑞万杨阳余建平杨俊伟冯凯严凡徐子豪
一种多晶材料合成装置
本实用新型涉及晶体制造设备技术领域，且公开了一种多晶材料合成装置，包括底座和合成组件，所述合成组件位于底座的上方，所述合成组件包括多晶炉，所述多晶炉固定安装在底座的上方，所述多晶炉左端的上端活动安装有活动轴，所述活动轴的...
王夏芳程鹏飞李润博夏海旗任冬宾
蚀刻多晶硅的方法
本发明提供适用于在氧化硅和氮化硅存在下蚀刻多晶硅的组合物。所述组合物包含氢氧化胆碱、例如过碘酸的氧化剂和任选的表面活性剂，且一般适用于多晶硅的蚀刻，且尤其适用于多晶硅修整以及多晶硅剥蚀的操作。发现利用所添加的氧化剂可降低...
S·M·比洛迪奥D·怀特
多晶硅打磨处理装置
本实用新型涉及多晶硅加工技术领域，且公开了多晶硅打磨处理装置，包括底座以及固定在底座上方的打磨台，还包括：栓接在底座顶部左右两侧的气缸，所述底座顶部的左右两侧均设置有夹持板，且气缸的输出轴与夹持板的表面固定连接；固定在底...
鹿斌
一种多晶硅表面打磨装置
本实用新型公开了一种多晶硅表面打磨装置，涉及多晶硅打磨技术领域。包括多晶硅打磨机构，所述多晶硅打磨机构包括安装台，所述安装台的表面安装有操控面板，所述安装台的顶部安装有上料运输组件，所述安装台的顶部安装有夹持移送组件，且...
鹿斌
一种多晶硅片清洗设备
本实用新型涉及多晶硅片清洗技术领域，公开了一种多晶硅片清洗设备，包括箱体，所述箱体的左右部中侧固定连接有固定板，所述箱体的上部右侧等距设置有四个风干机构，所述箱体的内部两侧等距转动连接有转轴，所述转轴之间设置有传送带，所...
袁国清孙文珠李昊周娜娜
一种多晶硅浇铸降温装置
本实用新型提供一种多晶硅浇铸降温装置，涉及多晶硅生产技术领域，包括管道和导流板，所述管道的内壁两侧均安装有多个导流板，所述导流板的另一侧贯穿管道固定连接有导热板，且所述导流板设置有一定的倾斜角度，通过导流板的设置，在使用...
姚玉平
一种多晶硅样片切割设备
本实用新型涉及切割设备技术领域，提供一种多晶硅样片切割设备，包括：箱体，具有一下沉的切割区；夹持器，设于切割区，用于装夹多晶硅样棒；及切割器，设于切割区，其切割头可沿多晶硅样棒的径向进给以对多晶硅样棒进行切割而得到样片；...
张琴游书华李向东曹利利仇艳娜刘洋王静
一种棒状多晶硅上料装置
本实用新型公开了一种棒状多晶硅上料装置，包括底座，底座的顶部设有机械臂，机械臂的顶部设有电机，机械臂远离底座一侧的底部设有机械抓头，机械抓头上方的机械臂上设有风刀组件，风刀组件上方的机械臂上设有除尘风罩，底座上方的机械臂...
童翔马振海黄东明梁国东曹国维贺琪
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多晶珊
作品数：4被引量：9H指数：2
供职机构：天津市公安医院
研究主题：疗效观察 带状疱疹 治疗带状疱疹 外用 喷雾剂
孙伟锋
作品数：1,113被引量：570H指数：11
供职机构：东南大学
研究主题：多晶硅栅 栅氧化层 氧化层 金属 电路
时龙兴
作品数：1,194被引量：345H指数：9
供职机构：东南大学
研究主题：多晶硅栅 氧化层 栅氧化层 金属 绝缘体上硅
陆生礼
作品数：865被引量：319H指数：10
供职机构：东南大学
研究主题：多晶硅栅 栅氧化层 氧化层 金属 绝缘体上硅
张波
作品数：4,960被引量：7,029H指数：42
供职机构：电子科技大学
研究主题：功率半导体器件 半导体功率器件 电能传输系统 无线 导电类型