搜索到 篇“ 干法处理 “的相关文章

相关作者

严大洲
作品数：424被引量：143H指数：7
供职机构：中国恩菲工程技术有限公司
研究主题：多晶硅 四氯化硅 三氯氢硅 还原炉 氯硅烷
肖荣晖
作品数：187被引量：58H指数：5
供职机构：中国恩菲工程技术有限公司
研究主题：多晶硅 三氯氢硅 四氯化硅 氯化氢 氯硅烷
汤传斌
作品数：250被引量：83H指数：6
供职机构：中国恩菲工程技术有限公司
研究主题：多晶硅 三氯氢硅 四氯化硅 氯化氢 氯硅烷
毋克力
作品数：142被引量：23H指数：3
供职机构：中国恩菲工程技术有限公司
研究主题：多晶硅 四氯化硅 三氯氢硅 氯化氢 还原炉
沈祖祥
作品数：24被引量：0H指数：0
供职机构：中国恩菲工程技术有限公司
研究主题：多晶硅 干法处理 氯化氢 四氯化硅 尾气