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周兆英
作品数:634被引量:2,831H指数:27
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
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叶雄英
作品数:242被引量:823H指数:16
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研究主题:MEMS 微型机械 碳纳米管 微流控芯片 微机电系统
姚汉民
作品数:175被引量:243H指数:8
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余国彬
作品数:75被引量:71H指数:5
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 相机 投影光刻物镜 深空探测 投影光刻
沈雪瑾
作品数:108被引量:288H指数:10
供职机构:上海大学机电工程与自动化学院
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