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一种微波等离子体清洗设备: 本发明公开了一种微波等离子体清洗设备，涉及微波等离子体技术领域，包括设备外框、设置在设备外框内的等离子体反应腔、设置在等离子体反应腔内的挂架以及至少两个微波辐射天线组件，等离子体反应腔为真空腔，挂架用于挂接待清洗的工装夹...; 王邱林吉皓何源远刘鑫

一种微波等离子体产生装置: 本发明公开了一种微波等离子体产生装置，属于微波技术领域，包括等离子体炬；所述等离子体炬包括外壳；所述外壳内设有圆柱状腔；所述圆柱状腔内设有反应管；所述外壳上设有进气口和出气口；所述进气口和出气口通过反应管连通；所述外壳上...; 王邱林吉皓

一种微波等离子体喷枪: 本发明公开了一种微波等离子体喷枪，可用于半导体加工技术领域中的离子注入机。本发明的微波等离子体喷枪，包括微波发生器、波导组件、等离子体腔室、工作气体供给装置以及介质管和导电杆。其中，介质管的开口端设置在等离子体腔室的外部...; 夏世伟朱玲王宇琳洪俊华杨立军孟庆栋张晓峰

一种微波等离子体源、系统及方法: 本发明公开了一种微波等离子体源、系统及方法，属于微波技术领域，包括矩形波导、引导波导和陶瓷管；所述矩形波导的窄壁内侧上贴靠设置有第一导波结构，所述第一导波结构包括沿微波传输方向依次连接的第一介质段和第二介质段；所述第一介...; 朱铧丞杨丰铭杨阳

一种微波等离子体化学气相沉积设备: 本实用新型提供了一种微波等离子体化学气相沉积设备，属于等离子体化学气相沉积技术领域，上述设备包括机架、微波源、波导管、腔体及样品台组件，上述腔体为竖直设置的圆筒状结构，其第一端与机架连接，第二端与波导管连接，波导管水平设...; 黄春林胡宗义刘文科吴丹李俊宏

一种微波等离子体化学气相沉积设备: 本发明提供了一种微波等离子体化学气相沉积设备，属于微波等离子体领域。上述沉积设备包括微波源、微波传输装置及放电腔组件，微波源通过微波传输装置与放电腔组件连接。放电腔组件包括放电腔以及观察筒，观察筒与放电腔的外壁连接，并与...; 黄春林刘文科冯智飞李俊宏季宇

一种射频微波等离子体除胶装置: 本实用新型公开了一种射频微波等离子体除胶装置，属于工业生产半导体技术领域，解决了现有技术中仅适用射频等离子体或者微波等离子体进行除胶导致的生产效率低下的问题。本实用新型在原有射频等离子体除胶装置的基础上加入了微波等离子体...; 王晓东马飞鹏

一种微波等离子体化学气相沉积装置: 本发明涉及一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括有圆波导，内部中空而形成圆柱形谐振腔；第一微波等离子激发机构，设于谐振腔上方并与圆波导连通，用于输入第一TM01模式的电场以使圆柱形谐振腔内激发第一微波等离子；其特征在于：...; 张军安张天翊朱铧丞杨阳张文聪张冠群胡付生刘丽王海军

一种微波等离子体刻蚀装置及方法: 本发明公开了一种微波等离子体刻蚀装置及方法，包括：刻蚀室、运动平台、等离子体火炬、供气组件及微波发生器，运动平台活动内置于刻蚀室，用于放置待加工物料，等离子体火炬包括喷嘴，喷嘴相对运动平台设置，并连接于刻蚀室的内壁，喷嘴...; 万杨张小伟刘明帆黄大勇

一种可弯曲线型微波等离子体源: 本发明公开了一种可弯曲线型微波等离子体源，包括微波源、同轴波导缝隙辐射天线和两个永磁磁体；所述微波源用于在同轴波导中产微波；同轴波导缝隙辐射天线为同轴波导，且在同轴波导外导体上设置有沿螺旋线分布的缝隙；所述永磁磁体位于所...; 李义

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汪建华: 作品数：371被引量：834H指数：12; 供职机构：武汉工程大学; 研究主题：化学气相沉积金刚石薄膜金刚石膜微波等离子体金刚石

马志斌: 作品数：205被引量：386H指数：9; 供职机构：武汉工程大学; 研究主题：金刚石薄膜金刚石微波等离子体化学气相沉积化学气相沉积单晶金刚石

张贵新: 作品数：203被引量：970H指数：17; 供职机构：清华大学; 研究主题：微波等离子体等离子体微波表面电荷无极灯

翁俊: 作品数：80被引量：120H指数：6; 供职机构：武汉工程大学; 研究主题：微波等离子体金刚石膜化学气相沉积 MPCVD 金刚石薄膜

李成明: 作品数：330被引量：435H指数：11; 供职机构：北京科技大学; 研究主题：金刚石金刚石膜单晶金刚石微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜