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惯性传感器
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科技报告
排序方式:
相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
相关度排序
相关度排序
被引量排序
时效性降序
时效性升序
一种MEMS
惯性
传感器
本实用新型涉及一种MEMS
惯性
传感器
,包括读出电路层和MEMS表头,所述MEMS表头层叠在所述读出电路层上并且二者之间键合有应力释放环。本实用新型中,一方面,MEMS表头与读出电路层之间的结构应力可以通过应力释放环释放;...
黄晟
蔡光艳
蔡喜元
魏晓莉
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丁铮
惯性
传感器
以及
惯性
测量装置
本发明涉及
惯性
传感器
和
惯性
测量装置。
惯性
传感器
中,能够绕沿着第一方向的第一旋转轴摆动的第一可动体具有开口部,在开口部具有:第二可动体,能够绕沿着第二方向的第二旋转轴摆动;第二支承梁,作为第二旋转轴来支承第二可动体(38)...
泷泽照夫
永田和幸
田中悟
山崎成二
一种
惯性
传感器
充电座
本实用新型涉及向负载供电的装置领域,尤指一种
惯性
传感器
充电座,具有用于储存
惯性
传感器
的充电槽,充电槽的内底面设有限位筋、内侧设有弹簧柱塞,弹簧柱塞具有收到外力挤压而往充电槽内部收缩的方向,
惯性
传感器
侧面所设有的导向槽与限...
严家建
王可植
叶兵
王柏通
惯性
传感器
装置及
惯性
计测单元
一种
惯性
传感器
装置及
惯性
计测单元,能够实现小型化。在具有多个
惯性
计测单元的
惯性
传感器
装置中,多个
惯性
计测单元中的第一
惯性
计测单元具备:
惯性
传感器
;接收部,接收其他
惯性
计测单元的数据;合成处理部,对所述其他
惯性
计测单元及该...
日吉泰德
惯性
传感器
结构与
惯性
传感器
本发明的实施例公开了一种
惯性
传感器
结构与
惯性
传感器
,其中
惯性
传感器
结构包括:衬底;器件结构,其设置在衬底的一侧,器件结构包括第一可动质量块、第二可动质量块;第一可动质量块和第二可动质量块关于一中心点180°旋转对称;一对...
李诺伦
庄瑞芬
毛应林
朱启发
惯性
传感器
结构与
惯性
传感器
本发明的实施例公开了一种
惯性
传感器
结构与
惯性
传感器
,其中
惯性
传感器
结构包括:衬底;器件结构,其设置在衬底的一侧,器件结构包括第一可动质量块、第二可动质量块;第一可动质量块和第二可动质量块关于一中心点180°旋转对称;一对...
李诺伦
庄瑞芬
毛应林
朱启发
芯片级
惯性
传感器
和
惯性
测量单元
提供了
惯性
传感器
和
惯性
测量单元。在一个示例中,芯片级
惯性
传感器
用于检测
惯性
传感器
绕轴的旋转速率。
惯性
传感器
包括用于检测
惯性
传感器
绕轴的第一旋转速率的光学振动陀螺仪。光学振动陀螺仪被配置成输出与第一旋转速率相对应的主信号。...
营·利亚·李
一种MEMS
惯性
传感器
及
惯性
测量装置
本实用新型涉及微机电系统技术领域,具体涉及一种MEMS
惯性
传感器
及
惯性
测量装置,包括陀螺仪和加速度计,所述陀螺仪和所述加速度计上下层布局,并通过盖板键合。本实用新型将陀螺仪和加速度计分别键合在盖板两侧,将两种
惯性
器件采用...
黄晟
蔡光艳
一种
惯性
传感器
装置及车辆
本申请涉及定位技术领域,尤其涉及一种
惯性
传感器
装置及车辆,装置包括:第一类型
惯性
传感器
和N个第二类型
惯性
传感器
均用于检测目标设备的姿态,以得到初始导航参数数据;第一类型
惯性
传感器
的测量精度高于第二类型
惯性
传感器
的测量精度...
杜雪
何天翼
陈恺
一种
惯性
传感器
数据仿真的改进方法
本发明提出了一种
惯性
传感器
数据仿真的改进方法。本发明通过组合导航模块获取多个时刻的位置、速度、姿态,利用
惯性
导航反演算法解算得到多个时刻的角度增量和速度增量;利用当前时刻的角度增量和速度增量,通过机械编排获得当前时刻的解...
张全
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王强
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被引量:506
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供职机构:北京信息科技大学
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王智
作品数:135
被引量:307
H指数:10
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:惯性传感器 望远镜 引力波 电极 差分电容
牛小骥
作品数:168
被引量:424
H指数:9
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