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一种MEMS惯性传感器
本实用新型涉及一种MEMS惯性传感器,包括读出电路层和MEMS表头,所述MEMS表头层叠在所述读出电路层上并且二者之间键合有应力释放环。本实用新型中,一方面,MEMS表头与读出电路层之间的结构应力可以通过应力释放环释放;...
黄晟蔡光艳蔡喜元魏晓莉贾蔓谷丁铮
惯性传感器以及惯性测量装置
本发明涉及惯性传感器惯性测量装置。惯性传感器中,能够绕沿着第一方向的第一旋转轴摆动的第一可动体具有开口部,在开口部具有:第二可动体,能够绕沿着第二方向的第二旋转轴摆动;第二支承梁,作为第二旋转轴来支承第二可动体(38)...
泷泽照夫永田和幸田中悟山崎成二
一种惯性传感器充电座
本实用新型涉及向负载供电的装置领域,尤指一种惯性传感器充电座,具有用于储存惯性传感器的充电槽,充电槽的内底面设有限位筋、内侧设有弹簧柱塞,弹簧柱塞具有收到外力挤压而往充电槽内部收缩的方向,惯性传感器侧面所设有的导向槽与限...
严家建王可植叶兵王柏通
惯性传感器装置及惯性计测单元
一种惯性传感器装置及惯性计测单元,能够实现小型化。在具有多个惯性计测单元的惯性传感器装置中,多个惯性计测单元中的第一惯性计测单元具备:惯性传感器;接收部,接收其他惯性计测单元的数据;合成处理部,对所述其他惯性计测单元及该...
日吉泰德
惯性传感器结构与惯性传感器
本发明的实施例公开了一种惯性传感器结构与惯性传感器,其中惯性传感器结构包括:衬底;器件结构,其设置在衬底的一侧,器件结构包括第一可动质量块、第二可动质量块;第一可动质量块和第二可动质量块关于一中心点180°旋转对称;一对...
李诺伦庄瑞芬毛应林朱启发
惯性传感器结构与惯性传感器
本发明的实施例公开了一种惯性传感器结构与惯性传感器,其中惯性传感器结构包括:衬底;器件结构,其设置在衬底的一侧,器件结构包括第一可动质量块、第二可动质量块;第一可动质量块和第二可动质量块关于一中心点180°旋转对称;一对...
李诺伦庄瑞芬毛应林朱启发
芯片级惯性传感器惯性测量单元
提供了惯性传感器惯性测量单元。在一个示例中,芯片级惯性传感器用于检测惯性传感器绕轴的旋转速率。惯性传感器包括用于检测惯性传感器绕轴的第一旋转速率的光学振动陀螺仪。光学振动陀螺仪被配置成输出与第一旋转速率相对应的主信号。...
营·利亚·李
一种MEMS惯性传感器惯性测量装置
本实用新型涉及微机电系统技术领域,具体涉及一种MEMS惯性传感器惯性测量装置,包括陀螺仪和加速度计,所述陀螺仪和所述加速度计上下层布局,并通过盖板键合。本实用新型将陀螺仪和加速度计分别键合在盖板两侧,将两种惯性器件采用...
黄晟蔡光艳
一种惯性传感器装置及车辆
本申请涉及定位技术领域,尤其涉及一种惯性传感器装置及车辆,装置包括:第一类型惯性传感器和N个第二类型惯性传感器均用于检测目标设备的姿态,以得到初始导航参数数据;第一类型惯性传感器的测量精度高于第二类型惯性传感器的测量精度...
杜雪何天翼陈恺
一种惯性传感器数据仿真的改进方法
本发明提出了一种惯性传感器数据仿真的改进方法。本发明通过组合导航模块获取多个时刻的位置、速度、姿态,利用惯性导航反演算法解算得到多个时刻的角度增量和速度增量;利用当前时刻的角度增量和速度增量,通过机械编排获得当前时刻的解...
张全牛小骥王强李笛叶红军

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周泽兵
作品数:195被引量:205H指数:8
供职机构:华中科技大学
研究主题:加速度计 惯性传感器 电容 扭摆 静电力
熊智
作品数:538被引量:1,224H指数:18
供职机构:南京航空航天大学
研究主题:组合导航 惯性导航系统 组合导航系统 集群 天文
苏中
作品数:447被引量:506H指数:11
供职机构:北京信息科技大学
研究主题:电极 蛇形机器人 加速度计 陀螺 存储介质
王智
作品数:135被引量:307H指数:10
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:惯性传感器 望远镜 引力波 电极 差分电容
牛小骥
作品数:168被引量:424H指数:9
供职机构:武汉大学
研究主题:组合导航 惯性测量单元 GNSS 惯性传感器 INS