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一种提升伺服摆式加速度计温度灵敏度及滞环误差的方法
本发明提供了一种提升伺服摆式加速度计零偏温度灵敏度及滞环误差的方法,解决按照现有方法批量生产伺服摆式加速度,仍然有部分产品存在滞环误差变化以及零偏温度灵敏度超差,导致产品合格率下降的问题。本发明提升手段包括调整支承片厚度...
付坤张轩王德锁宋思波王一铎
一种基于电阻尼调节的低温度灵敏度电容式加速度计结构
本发明公开了一种基于电阻尼调节的低温度灵敏度电容式加速度计结构,包括上层单晶硅、中间层单晶硅和下层单晶硅,中间层单晶硅片上制作的为硅微电容式加速度计机械结构,包括质量块、三折支撑梁、检测电容、阻尼调节电容和固定锚点;质量...
裘安萍施芹夏国明赵阳黄锦阳
一种减小光纤陀螺温度灵敏度的方法
本发明公布了一种减小光纤陀螺温度灵敏度的方法,当温度变化时,光纤环的几何尺寸及内部应力会发生变化,进而影响光纤陀螺的零偏、标度因数等参数,表现为光纤陀螺的温度灵敏度。本发明提出,可以制备主材质为二氧化硅的石英环体来代替传...
张辰吴青昀高宝玮刘擎乾李磊王逸伦李志刚杨富中于全福杨添舒范顺飞张淇陈宇杰何玉铭
振动传感器温度灵敏度校准不确定度评定
2023年
ISO16063-34给出了采用激光干涉绝对法进行振动传感器温度灵敏度校准的方法,解决了其溯源问题。文中给出了采用绝对法进行振动传感器温度灵敏度校准的不确定度评定方法,在深入研究影响振动测量因素的基础上,根据试验结果和经验数据给出了校准不确定度评定实例,为后续开展振动传感器温度灵敏度的不确定度评定提供参考,同时为高低温振动测量准确度的评估提供依据。
朱刚田俊宏戴宜霖刘鹏杨晓伟
关键词:测量不确定度温度灵敏度
降低光纤陀螺标度因数温度灵敏度的方法及光纤陀螺
本发明涉及光纤陀螺技术领域,尤其涉及降低光纤陀螺标度因数温度灵敏度的方法及光纤陀螺,包括如下步骤:确定光纤Bragg光栅的中心波长范围及反射谱宽范围;测试泵浦激光器的实际谱型;制作光谱切趾滤波器;制作光纤陀螺;对光纤陀螺...
罗巍陈馨颜苗于杰冯菁
降低光纤陀螺标度因数温度灵敏度的方法及光纤陀螺
本发明涉及光纤陀螺技术领域,尤其涉及降低光纤陀螺标度因数温度灵敏度的方法及光纤陀螺,包括如下步骤:确定光纤Bragg光栅的中心波长范围及反射谱宽范围;测试泵浦激光器的实际谱型;制作光谱切趾滤波器;制作光纤陀螺;对光纤陀螺...
罗巍陈馨颜苗于杰冯菁
大偏移量错芯MZI实现较低温度灵敏度的曲率传感
2023年
基于光纤大偏移量错芯(large core-offset structure,LCOS)熔接形成的马赫-曾德尔干涉结构(Mach-Zehnder interferometer,MZI),设计了一种具有较低温度灵敏度的曲率传感器。该结构采用GF3光纤作为核心灵敏单元,与两段单模光纤(single mode fiber,SMF)进行LCOS熔接,通过实验对比偏移量和传感光纤长度对温度和曲率灵敏度的影响,得到最佳参数组合实现较低温度灵敏度的曲率传感。实验结果表明,偏移量为20μm、传感光纤长度为10 mm时的LCOS MZI,曲率灵敏度可以达到10.9 nm/m^(-1),且温度灵敏度仅为0.9 pm/℃。该传感器具有结构简单、成本低、曲率灵敏度较高和温度灵敏度低的特点,在工程结构、健康监控与人体可穿戴设备等方面具有潜在的应用价值。
李丽姜捷梁丽丽杨康李国玉
FBG在温度交变环境下温度灵敏度研究被引量:1
2023年
为探求FBG在太空温度交变环境下是否可靠,建立了温度灵敏度试验系统。研究温度变化引起光纤光栅波长漂移与热膨胀系数之间的关系。首先,搭建光纤光栅温度敏感检测试验平台,通过改变环境温度获取FBG光谱并与理论漂移系数进行了对比,然后,建立温度与FBG主波长的线性与二次多项式拟合关系并选取SSE、RMSE、R-square三个指标对比两种拟合方法的优劣,最后分析了理论计算与试验计算结果差异的原因。试验结果表明,在温度设定的范围-60℃到110℃作为外层空间温度的模拟温度环境下,理论温度漂移值与实际值在不同光栅位置分别有7.4%、7.7%的误差,故FBG由于温度变化的主波长偏移用二次多项式拟合比理论相对线性拟合更精确。从而,利用FBG的机械参数来计算FBG的温度敏感系数是不合适的,具体的温度敏感系数需要通过试验来确定。
庞博赵峥周月阁刘守文
关键词:温度敏感性FBG
一种减小光纤陀螺温度灵敏度的方法
本发明公布了一种减小光纤陀螺温度灵敏度的方法,当温度变化时,光纤环的几何尺寸及内部应力会发生变化,进而影响光纤陀螺的零偏、标度因数等参数,表现为光纤陀螺的温度灵敏度。本发明提出,可以制备主材质为二氧化硅的石英环体来代替传...
张辰吴青昀高宝玮刘擎乾李磊王逸伦李志刚杨富中于全福杨添舒范顺飞张淇陈宇杰何玉铭
文献传递
薄膜压力传感器温度灵敏度补偿工艺研究
2022年
利用光刻技术制作压力传感器温度灵敏度补偿电阻图形,以纯度99.99%的镍为靶材,采用溅射的原理,将镍原子溅射到工件上,最后形成薄膜补偿电阻。测试薄膜电阻值,根据公式计算出补偿电阻的阻值,通过激光调阻机将电阻值调到理论计算值,进行压力传感器的补偿试验。结果表明,采用溅射薄膜的补偿电阻精度优于传统的电阻元器件补偿结果,温度灵敏度补偿精度可以达到0.003%F.S,优于传统的补偿精度。
潘婷蔺露
关键词:压力传感器温度灵敏度

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裘安萍
作品数:174被引量:271H指数:11
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作品数:1,037被引量:1,298H指数:15
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作品数:504被引量:745H指数:14
供职机构:天津大学
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作品数:143被引量:162H指数:9
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研究主题:单晶硅片 硅微陀螺仪 硅 玻璃衬底 谐振式加速度计
刘铁根
作品数:1,056被引量:1,754H指数:18
供职机构:天津大学
研究主题:光纤 解调方法 传感器 宽带光源 传感