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脉冲激光沉积设备及其沉积方法
本发明公开了脉冲激光沉积设备及其沉积方法,包括架体,所述架体内部设置有镀膜真空腔体,所述真空室内设置有靶材筒,所述靶材筒上套设有阴极靶材,所述架体上设置有用于驱动靶材筒做旋转运动的靶材筒旋转驱动机构,所述镀膜真空腔体内设...
请求不公布姓名请求不公布姓名
一种脉冲激光沉积设备及其使用方法
本申请提供了一种脉冲激光沉积设备及其使用方法,涉及薄膜制备技术领域。通过在放置台和沉积台之间设置加热线圈,靶材的溅射物会向上飞出穿过加热线圈,溅射物中的大颗粒会受到重力作用向下跌落,还有部分杂质跟随溅射物继续向上,在穿过...
武帅郭可升刘镭何斌刘宏李昕
一种等离子光栅脉冲激光沉积镀膜方法
本发明涉及镀膜技术领域,公开了一种等离子光栅脉冲激光沉积镀膜方法,包括如下步骤;步骤一、将基片和靶材料置于真空腔内;步骤二、打开飞秒激光器产生飞秒脉冲激光,飞秒脉冲激光经过分束模块分束后,形成多束飞秒脉冲激光;步骤三、其...
曾和平胡梦云施沈城乔蔚
一种超声滚压同步辅助激光沉积成形的装置
本发明提供了一种超声滚压同步辅助激光沉积成形的装置,属于激光增材制造领域,该装置包括:激光沉积头、固定板、超声波发生器、超声滚压装置和同步运动固定架;激光沉积头通过固定板与机械臂连接,超声滚压装置主要由超声换能器、变幅杆...
刘冠粟意归刘德福蔺永诚张林虎邓子鑫皮旭宇
脉冲激光沉积制备MZO薄膜及其光学性能研究
掺镁的氧化锌(MZO)薄膜不仅拥有卓越的透明导电特性,还具备稳定的化学性能,这使其在光电转换器、传感器和存储器等多个应用领域展现了巨大的应用潜力。然而,其性能受多种因素影响,运用脉冲激光沉积(PLD)技术制备过程中的激光...
刘舒舒
关键词:脉冲激光沉积激光能量衬底温度光学带隙
一种同轴激光沉积中的吹气冷却系统和方法
本发明公开一种同轴激光沉积中的吹气冷却系统和方法,涉及金属增材制造技术领域,以解决现有同轴激光沉积设备在高激光功率的情况下,熔池凝固冷却速率低,产品性能差的问题。系统包括:吹气冷却装置、激光器、四个送粉装置以及控制器;四...
李怡超李欣红张兴阳任林楠刘敬轩蔡阳李丽
一种均匀烧蚀靶材的大面积脉冲激光沉积方法
本发明的技术方案是提供了一种均匀烧蚀靶材的大面积脉冲激光沉积方法。通过样品台和靶材的中心对齐、靶材和基片的错频自转、可调速步进电机对光路的精确控制,以及激光光斑相对于靶材中心位移的反比速率扫描,实现靶材的均匀烧蚀,从而长...
赵爱迪成龙许敏辉翟晓芳
一种多维超声辅助激光沉积制造装置及其沉积方法
本发明属于激光沉积技术领域,涉及一种多维超声辅助激光沉积制造装置,包括激光发生器、同轴送粉激光器、机器人转接装置、随动超声夹具、随动超声单元、底部支撑装置及底部超声单元;同轴送粉激光器通过机器人转接装置与随动超声夹具连接...
张咪娜王以珅翟锰钢周宇航程东旭
一种钛合金表面激光沉积修复层及修复方法
本申请提供一种钛合金表面激光沉积修复层及修复方法,该方法中,以高纯度Fe、Co、Cr、C、B粉末为沉积材料,在高能激光照射下在钛合金基体表面原位沉积形成TiB<Sub>2</Sub>陶瓷相,这极大提高沉积修复层的硬度和耐...
齐康蒋龙
通过脉冲激光沉积制备的透明且高k的薄膜
本发明涉及通过脉冲激光沉积法形成具有高介电常数和在可见光范围内具有高光学透射率的薄膜(Ga 0.5%,Cu 8%)共掺杂ZnO。该方法的步骤包括将安装在样品架上的基于蓝宝石的衬底安置到脉冲激光沉积室中;并在所述室内安置含...
黄栋凌志聪

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钦兰云
作品数:179被引量:448H指数:12
供职机构:沈阳航空航天大学
研究主题:激光沉积 钛合金 激光 增材制造 显微组织
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作品数:241被引量:687H指数:14
供职机构:东北大学
研究主题:激光沉积 钛合金 激光 显微组织 增材制造
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作品数:387被引量:1,114H指数:15
供职机构:河北科技大学
研究主题:激光沉积 钛合金 显微组织 激光 选区激光熔化
卞宏友
作品数:170被引量:410H指数:13
供职机构:沈阳工业大学
研究主题:激光沉积 激光 钛合金 数值模拟 GH4169合金
李波
作品数:181被引量:224H指数:10
供职机构:浙江工业大学
研究主题:超音速 激光沉积 激光 冷喷涂 送粉器