搜索到 篇“ 激光直写系统 “的相关文章

相关作者

刘前
作品数：68被引量：0H指数：0
供职机构：国家纳米科学中心
研究主题：激光直写 金属薄膜 激光直写系统 基底 狭缝
侯德胜
作品数：63被引量：142H指数：6
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：相移掩模 光刻 激光直写 光刻掩模 衰减相移掩模
浦东林
作品数：88被引量：81H指数：6
供职机构：苏州大学
研究主题：光刻 光刻系统 激光直写 空间光调制器 干涉光刻
张浩然
作品数：12被引量：0H指数：0
供职机构：国家纳米科学中心
研究主题：激光直写 光刻胶 激光直写系统 褶皱 大规模集成电路
魏震
作品数：8被引量：0H指数：0
供职机构：浙江大学
研究主题：激光直写系统 激光直写 高通量 成像 超分辨