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2025年3月29日星期六

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搜索到3266篇“ 热退火“的相关文章

一种薄膜材料热退火的光谱测量仪器: 本实用新型涉及一种薄膜材料热退火的光谱测量仪器，包括：用于放置薄膜材料样品并进行热退火处理的热台；用于照射热台上薄膜材料样品的光源；用于控制热台的热退火温度的温控器；用于提供热台中薄膜材料样品的真空环境的真空泵和用于获得...; 卜腊菊余继发鲁广昊

一种氮化硅薄膜热退火方法和装置: 本发明涉及退火工艺技术领域中的一种氮化硅薄膜热退火方法和装置，包括以下步骤：阶段式加热氮化硅薄膜至保温温度，进入保温过冲阶段；调整保温过冲阶段进入保温阶段，并使保温阶段的温度与保温温度相同；冷却氮化硅薄膜至调控冷却温度，...; 钟浩盛况任娜

一种改善热退火中后道连接工艺钨塞缺陷的方法: 本发明公开了一种改善热退火中后道连接工艺钨塞缺陷的方法，涉及隧穿磁电阻领域，包括在放置的晶圆衬底片表面完成磁隧道结多层膜堆结构生长后继续进行硬掩模生长，以此增强整体磁阻结构稳定性，避免发生钨塞损伤或膜堆翘起，硬掩模生长完...; 周显陈文静刘宏喜曹凯华王戈飞

改善热退火工艺后晶圆间电阻率均匀性的方法: 本申请公开了一种改善热退火工艺后晶圆间电阻率均匀性的方法，包括：S1：将晶圆放置到热退火炉管的腔体中，所述晶圆包括衬底和形成在衬底表面的多晶硅层，所述多晶硅层中注入有磷；S2：对所述晶圆进行热退火工艺，同时向所述热退火炉...; 马富林张宾郑刚沈志超

碳化硅晶圆快速热退火用导热衬片及其制备方法和载具: 本发明提供了一种碳化硅晶圆快速热退火用导热衬片及其制备方法和载具，导热衬片用于对碳化硅晶圆进行辅助加热，导热衬片包括：衬片基体(1)，衬片基体(1)的至少一侧的表面上设置有槽结构，槽结构至少包括第一凹槽结构(10)，第一...; 冯尹张鹏

碳化硅晶圆快速热退火用测温装置及晶圆快速热退火设备: 本实用新型提供了一种碳化硅晶圆快速热退火用测温装置及晶圆快速热退火设备。碳化硅晶圆快速热退火用测温装置，晶圆载具上设有至少一个用于承载碳化硅晶圆的顶针，包括：支撑结构，支撑结构包括凸台，凸台的第一端与晶圆载具连接，凸台的...; 张鹏冯尹

碳化硅晶圆快速热退火用导热载具: 本发明提供了一种碳化硅晶圆快速热退火用导热载具，包括：基板，基板为两个，两个基板相对地设置；连接结构，连接结构设置于两个基板之间，连接结构的两端分别与两个基板连接，连接结构和两个基板之间形成用于容纳碳化硅晶圆的容纳空间，...; 冯尹张鹏

快速热退火设备的腔体的漏氧及温度监控的方法及系统: 本发明公开了一种快速热退火设备的腔体的漏氧及温度监控的方法及系统，其中方法包括以下步骤：将放入Ti片的腔体升温至723℃～727℃，保持50至70秒；测量Ti片的方块电阻的阻值和方块电阻阻值的均匀性；判断Ti片的方块电阻...; 归剑王海红

一种用于制备人工肌肉及调节其驱动性能的热退火方法: 本发明公开了一种用于制备人工肌肉及调节其驱动性能的热退火方法，该热退火方法包括：将线轴水平地安装于框架；将电机固定安装于支架，并将电机的输出轴底端固连于框架的顶端；将镀银尼龙纤维的顶端系在线轴上，底端系在滑动架上，滑动架...; 李庆威吴孟杰程明星

一种热退火四方金属纳米复合材料及其制备方法和应用: 本发明提供了一种热退火四方金属纳米复合材料及其制备方法和应用；本发明以二甲基甲酰胺(DMF)为配体，采用溶剂热法合成了四方金属纳米复合材料qMNC，然后将四方金属纳米复合材料qMNC煅烧得到热退火四方金属纳米复合材料qM...; 王维维周阳弗兰克·佩普拉·阿代陈金萍赵芳王静张磊梁桂廷

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张卫: 作品数：794被引量：296H指数：9; 供职机构：复旦大学; 研究主题：原子层淀积存储器晶体管电极隧穿

徐秋霞: 作品数：366被引量：64H指数：4; 供职机构：中国科学院微电子研究所; 研究主题：金属栅半导体器件刻蚀沟道堆叠

丁士进: 作品数：219被引量：165H指数：8; 供职机构：复旦大学; 研究主题：原子层淀积低介电常数电荷铜互连快速热退火

郝跃: 作品数：2,494被引量：1,198H指数：13; 供职机构：西安电子科技大学; 研究主题：势垒层电极场板高电子迁移率晶体管氮化镓

于军胜: 作品数：728被引量：326H指数：8; 供职机构：电子科技大学; 研究主题：基板有机电致发光器件柔性衬底钙钛矿光电子器件