搜索到 篇“ 硅片清洗 “的相关文章

相关作者

杨德仁
作品数:938被引量:869H指数:15
供职机构:浙江大学
研究主题:太阳电池 硅 直拉硅单晶 欧姆接触电极 硅片
王波雷
作品数:33被引量:0H指数:0
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:硅片 硅片清洗 夹持 旋转轴 卡盘
吴仪
作品数:163被引量:3H指数:1
供职机构:北京七星华创电子股份有限公司
研究主题:晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
马向阳
作品数:247被引量:217H指数:7
供职机构:浙江大学
研究主题:欧姆接触电极 直拉硅 直拉硅单晶 氧沉淀 电致发光
阙端麟
作品数:237被引量:502H指数:11
供职机构:浙江大学
研究主题:硅单晶 直拉硅单晶 硅 氧沉淀 直拉硅