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高密度等离子体增强化学气相沉积腔室
本公开内容涉及用于沉积腔室的喷头的方法和设备。在一个实施方式中，提供一种用于等离子体沉积腔室的喷头，所述喷头包括：多个穿孔砖，每个穿孔砖耦接于多个支撑构件中的一者或多者；和位于喷头内的多个电感耦合器，其中所述多个电感耦合...
元泰景李永东高建德桑杰伊·D·雅达夫崔寿永苏希尔·安瓦尔
一种离子速度矢量可控的高密度等离子体源
本发明涉及等离子体源技术领域，提供了一种离子速度矢量可控的高密度等离子体源，将工质气体通过流量控制器的分配后经过管路进入MPDA模块中进行初步电离，获得的低密度等离子体通过进入端进入陶瓷放电腔；在磁镜阵列磁场的约束下，陶...
张尊刘佳孙宇哲贾晴晴杭观荣汤海滨
一种应用于高密度等离子体侧线圈的调整结构
本实用新型提供一种应用于高密度等离子体侧线圈的调整结构，其包括底座，所述底座上设有反应腔室，所述底座的反应腔室上方安装有陶瓷穹顶，所述陶瓷穹顶的圆弧面套有侧线圈，所述侧线圈的圆弧面卡接有若干夹持块，所述夹持块的一侧卡接有...
潘铁壮祁广杰初春李久龙苏宇田才忠
高密度等离子体密度测量的激光光纤干涉仪诊断系统
本发明提供了一种高密度等离子体密度测量的激光光纤干涉仪诊断系统，该激光光纤干涉仪诊断系统采用光纤耦合器，减少了开放式光束系统中光学平台及其它光学器件的使用，进而结构简单，成本低。并且，该激光光纤干涉仪诊断系统利用光纤的可...
张森兰涛
用于探测高密度等离子体的高分辨率探针系统及方法
本发明公开了用于探测高密度等离子体的高分辨率探针系统及方法，四根朗缪尔探针与电子电路连接，所述电子电路与外接参考电极连接，所述四根朗缪尔探针安装在底座上，底座安装在航天器的内部，工作时，底座被航天器推到等离子体环境中，四...
李延辉谢新尧陈佳宇王进代路遥冷万昌张清和邢赞扬郭新
用于高质量间隙填充方案的循环可流动沉积和高密度等离子体处理处理
本文公开的实施方式关于在基板中形成沟槽和以可流动介电材料填充沟槽的方法。在一个实施方式中，所述方法包括：使具有至少一个沟槽的基板经历沉积处理，以自下而上的方式在所述沟槽的底表面和侧壁表面上形成可流动层，直到所述可流动层达...
梁璟梅Y·孙郭津睿P·P·杰哈J·C·李T-J·龚M·斯利尼瓦萨恩
高密度等离子体化学气相沉积装置及方法
本发明提供了一种高密度等离子体化学气相沉积装置及方法，高密度等离子体化学气相沉积装置包括：反应腔室，所述反应腔室的底部设置有承载台，所述反应腔室的侧壁设置有边缘喷嘴，所述反应腔室的顶壁设置有顶部喷嘴，所述边缘喷嘴和所述顶...
王正
软基材料表面高密度等离子体均匀渗氮装置
本实用新型涉及软基材料表面强化技术领域，尤其是一种软基材料表面高密度等离子体均匀渗氮装置，该装置包括分别设置在腔室内的左侧、右侧、前侧和后侧的4个弧源，每个所述弧源的后方设置有一个永磁铁装置，每个弧源均与一个弧源电源的负...
田海萍宋杰张月林张鹏蛟范富泽李俊周孙子武孙安
高密度等离子体增强化学气相沉积腔室
本公开内容涉及用于沉积腔室的喷头的方法和装置。在一个实施方式中，提供一种用于等离子体沉积腔室的喷头，包括多个穿孔的砖，其每一个耦合至多个支撑构件的一个或多个，及在喷头之中的多个电感耦合器，其中多个电感耦合器的一个电感耦合...
S·K·塞蒂元泰景孙光伟崔寿永李永东松本隆之桑杰伊·D·雅达夫R·L·迪纳
用于平板显示器的大面积高密度等离子体处理腔室
本文描述的实施方式提供一种用于独立地控制在腔室的内部容积内的等离子体密度和气体分配的腔室的盖组件。所述盖组件包括等离子体生成系统和气体分配组件。所述等离子体生成系统包括多个介电板，所述介电板具有相对于真空压力取向的底表面...
苏希尔·安瓦尔吴玉伦J·库德拉卡尔·A·索伦森吉万·普拉卡什·塞奎拉
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宋志伟
作品数：50被引量：0H指数：0
供职机构：国家纳米科学中心
研究主题：高密度等离子体 气相沉积 膜材料 不均匀性 反应气体
褚卫国
作品数：202被引量：54H指数：5
供职机构：国家纳米科学中心
研究主题：衬底 高密度等离子体 锂离子电池正极材料 气相沉积 锂
夏洋
作品数：513被引量：68H指数：5
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
李超波
作品数：378被引量：160H指数：7
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
窦伟
作品数：22被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：离子注入 脉冲电源 等离子体 高密度等离子体 微电子领域