搜索到 篇“ ALD “的相关文章

相关作者

冯昊
作品数：111被引量：26H指数：3
供职机构：西安近代化学研究所
研究主题：原子层沉积 燃料 ALD 硼粉 包覆
吕燚
作品数：147被引量：252H指数：9
供职机构：电子科技大学中山学院
研究主题：塔顶放大器 ALD 教学改革 退化数据 浪涌电流
龚婷
作品数：103被引量：23H指数：3
供职机构：西安近代化学研究所
研究主题：原子层沉积 燃料 硼粉 包覆 硼
秦利军
作品数：101被引量：19H指数：3
供职机构：西安近代化学研究所
研究主题：原子层沉积 燃料 硼粉 包覆 硼
李超波
作品数：364被引量：158H指数：7
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺