搜索到 篇“ RF-MEMS “的相关文章

相关作者

杨晋玲
作品数：102被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：谐振器 圆片级 电极 淀积 谐振结构
袁泉
作品数：27被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：谐振器 模态 动态电阻 RF-MEMS 锚点
杨富华
作品数：460被引量：236H指数：7
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：淀积 相变存储器 电极 纳米尺寸 相变材料
刘理天
作品数：623被引量：888H指数：12
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
巫正中
作品数：46被引量：80H指数：6
供职机构：后勤工程学院
研究主题：微机械 微带天线 无线通信 蓝牙技术 短接