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SAW传感器被引量:3
2012年
本文主要阐述了SAW传感器的原理、分类及其特点。由于SAW传感器具有非接触、快速、无电源、抗干扰、易编码、保密性好、成本低等优点,目前已广泛应用于许多领域。本文详细地介绍了几款具有代表性的应用。
杨渊华肖功亚刁振国
关键词:SAW无源无线谐振型
一种SAW传感器封装结构
本发明属于传感器领域,具体涉及一种SAW传感器封装结构;所述SAW传感器封装结构包括粘接器件单元的传感器底座,以及覆盖器件单元的固定环和压环;还包括传感器底座、固定环和压环三者内部形成的气室;所述器件单元包括SAW传感器...
何知益王露田园程蛟王浩李朝阳
一种SAW传感器封装结构及其装配方法
本发明属于传感器领域,具体涉及一种SAW传感器封装结构及其装配方法;所述SAW传感器封装结构包括粘接器件单元的传感器底座,以及覆盖器件单元的固定环和压环;还包括传感器底座、固定环和压环三者内部形成的气室;所述器件单元包括...
何知益王露田园程蛟王浩李朝阳
一种基于SAW传感器的螺栓紧固件松紧检测系统
本发明提出一种基于SAW传感器的螺栓紧固件松紧检测系统,主要包括布置在螺栓紧固件表面的SAW传感器检测系统和与其相连接的上位机。SAW传感器检测系统由振动加速度传感器和信号处理单元组成,其中振动加速度传感器包括叉指换能器...
马骥王艳玲李杰周琛源陈大志
一种基于SAW传感器的延时电路
本发明公开了一种基于SAW传感器的延时电路,包括:反相器组包括末端反相器组、中间反相器组和顶端反相器组;中间反相器组的数量为若干个;顶端反相器组的输入端连接信号发生器,顶端反相器组的输出端连接中间反相器组的输入端和多路选...
马培元王金磊雷绍充雷冰洁丁国成
基于温度、压力无线测试的SAW传感器及共面波导天线设计与研究
胡丹
Al_(2)O_(3)厚度对SAW传感器声波模式及性能的影响被引量:1
2023年
该文采用多物理场耦合的有限元模型,探究了保护层Al_(2)O_(3)厚度对以LGS为压电基底、Pt为电极的声表面波(SAW)高温传感器中声波特性及器件性能的影响。结果表明,随着Al_(2)O_(3)保护层厚度的增加,声表面波在L波方向的振动位移增加,在SH波和SV波方向的振动位移减弱,当保护层归一化厚度为6.25%时,其能量向衬底内部扩散;当保护层归一化厚度为18.75%时,Rayleigh波消失,此时为体波BAW模式;增加Al_(2)O_(3)保护层,波速v、机电耦合系数K^(2)显著升高;一阶频率温度系数τ_(f,1)和转换温度随保护层厚度的增加而升高。利用Al_(2)O_(3)薄膜对SAW温度传感器进行结构优化,为了获得良好的综合性能,归一化厚度应该在0.94%附近。
刘强李鸿源徐鸿
关键词:SAW传感器有限元
结构参数对SAW传感器的影响及电极失效分析
2023年
文中通过实验制备了一种以LiNbO_(3)为压电基底,Pt为电极,SiO_(2)为保护层的单端口谐振型声表面波传感器,探究了IDT与反射栅之间的距离Lg和电极宽度对SAW传感器的影响,揭示了不同温度下电极的微观变化规律,结果表明:当L_(g)=λ/2时,SAW传感器可以激发1个稳定的谐振峰,寄生峰对其影响较小;当L_(g)=3λ/8时,可以激发2个稳定的谐振峰;随着电极宽度的增加,声表面波传感器的波速和温度敏感性降低;700℃时,电极的部分结构开始变窄,随着温度的升高,电极和保护层凝聚收缩形成微小的孔洞,当温度达到950~1000℃时,电极熔化失效。
刘强杨文龙陈驰李鸿源徐鸿
关键词:声表面波传感器结构参数电极
基于单晶AlN的超高温SAW传感器研究
物联网时代的到来促进了高速通信和智能制造业的发展,随之而来的是对传感器的需求,尤其在航空航天、基础设施建造等领域,传感器的需求日益增加,但目前仍然存在许多难以解决的技术难题。本文面向工业中的高温恶劣环境,进行声表面波传感...
张怡红
基于内置SAW传感器高压电缆接头温度在线监测技术探究
针对高压单芯XPLE电缆密封接头在线测温应用场景,本文研制了一种内置无源无线声表面波(SAW)传感器及其读取器。设计了基于分立器件的读取器关键部分—射频收发单元。采用扫频法确定SAW谐振频率,使用FLIR E6红外热像仪...
李智衣红印张浩张辉庞丹
关键词:SAW扫频

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谢光忠
作品数:283被引量:250H指数:7
供职机构:电子科技大学
研究主题:气体传感器 传感器 叉指电极 供能 气敏薄膜
潘勇
作品数:78被引量:187H指数:8
供职机构:中国科学院声学研究所
研究主题:声表面波 SAW 分子印迹 传感器 声表面波传感器
杜晓松
作品数:325被引量:218H指数:8
供职机构:电子科技大学
研究主题:气体传感器 传感器 叉指电极 供能 声表面波气体传感器
邢建春
作品数:175被引量:816H指数:14
供职机构:人民邮电出版社
研究主题:监控系统 现场总线 OPC 智能控制器 模糊自适应
李复生
作品数:45被引量:254H指数:7
供职机构:天津大学化工学院绿色合成与转化教育部重点实验室
研究主题:聚碳酸酯 双酚A 羟基化合物 碳酸二酯 化学传感器