搜索到 篇“ SU-8胶 “的相关文章

相关作者

朱军
作品数：102被引量：197H指数：9
供职机构：上海交通大学
研究主题：微针 MEMS 微电子机械系统 SU-8胶 光刻胶
杜立群
作品数：187被引量：243H指数：8
供职机构：大连理工大学
研究主题：微电铸 电铸 微流控芯片 内应力 微制造
刘景全
作品数：459被引量：364H指数：10
供职机构：上海交通大学
研究主题：电极 压电 微机电系统 MEMS 微针
明平美
作品数：462被引量：324H指数：11
供职机构：河南理工大学
研究主题：电铸 电解加工 电沉积 掩膜 阴极
陈迪
作品数：217被引量：377H指数：10
供职机构：上海交通大学
研究主题：微流控芯片 微机电系统 微电子机械系统 MEMS LIGA技术