李思坤
作品数： 163被引量：168H指数：9
  • 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

王向朝
作品数：823被引量：1,326H指数：19
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
闫观勇
作品数：44被引量：24H指数：4
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 像差 主成分
步扬
作品数：156被引量：256H指数：10
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
杨朝兴
作品数：22被引量：33H指数：5
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 光源 掩模 投影物镜 分辨率增强技术
张恒
作品数：20被引量：21H指数：3
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 极紫外光刻 仿真方法 投影物镜 接触孔
作品列表