-
叶甜春
-

-

- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 陈大鹏

- 作品数:675被引量:455H指数:11
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
- 霍宗亮

- 作品数:366被引量:25H指数:3
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:存储器 沟道 闪存 介质层 电压
- 谢常青

- 作品数:507被引量:262H指数:8
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 光刻 存储器
- 陈岚

- 作品数:904被引量:168H指数:5
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:版图 电路 研磨 集成电路版图 CMP
- 欧毅

- 作品数:139被引量:101H指数:5
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统