-
杨勇
-
![](/images/user-pic.gif)
-
![](/images/index-lm-pic2.jpg)
- 所属机构:中国科学院光电技术研究所
- 所在地区:四川省 成都市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 胡松
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:466被引量:428H指数:8
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
- 赵立新
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:223被引量:69H指数:6
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
- 严伟
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:145被引量:118H指数:6
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
- 周绍林
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:83被引量:63H指数:5
- 供职机构:华南理工大学
- 研究主题:纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
- 陈旺富
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:27被引量:43H指数:4
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:纳米光刻 条纹 图像探测器 双光栅 成像系统