王肇志
作品数: 33被引量:21H指数:2
  • 所属机构:中国科学院光电技术研究所
  • 所在地区:四川省 成都市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:中国科学院知识创新工程重要方向项目

相关作者

胡松
作品数:466被引量:433H指数:8
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
邢薇
作品数:69被引量:2H指数:1
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 生物芯片 掩模 动镜 片夹
赵立新
作品数:223被引量:69H指数:6
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
唐小萍
作品数:122被引量:328H指数:10
供职机构:西藏自治区气候中心
研究主题:生物芯片 纳米光刻 掩模 光刻分辨力 光刻机
罗正全
作品数:45被引量:39H指数:3
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 光刻机 扫描仪 电子束曝光机 DSP