-
胡正军
-

-

- 所属机构:上海集成电路研发中心
- 所在地区:上海市
- 研究方向:电子电信
相关作者
- 周炜捷

- 作品数:25被引量:0H指数:0
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:干法刻蚀 硅衬底 牺牲层 清洗方法 平坦化
- 姚嫦娲

- 作品数:34被引量:0H指数:0
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:刻蚀 刻蚀工艺 互连 空气隙 通孔
- 钟旻

- 作品数:53被引量:0H指数:0
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:存储器单元 相变 底电极 沟道 相变材料
- 李铭

- 作品数:171被引量:5H指数:1
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:淀积 光刻 刻蚀 衬底 介质层
- 陈寿面

- 作品数:137被引量:9H指数:2
- 供职机构:上海集成电路研发中心
- 研究主题:晶体管 光刻 像元 电极 图像