张晨辉
作品数： 113被引量：121H指数：5
  • 所属机构:清华大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:一般工业技术
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

雒建斌
作品数：609被引量：1,135H指数：19
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
刘大猛
作品数：94被引量：12H指数：1
供职机构：清华大学
研究主题：超高真空 氦气 换热器 冷头 抛光装置
王婷
作品数：64被引量：69H指数：5
供职机构：清华大学
研究主题：超高真空 换热器 荧光增强 冷头 纳米银
王岩
作品数：116被引量：145H指数：8
供职机构：清华大学
研究主题：移动终端 高温气冷堆 宽频带 膜萃取 自然循环
路新春
作品数：349被引量：349H指数：11
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
作品列表