李炳宗
作品数: 94被引量:102H指数:6
  • 所属机构:复旦大学
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

茹国平
作品数:82被引量:80H指数:5
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:固相反应 微电子 NISI 硅化物 SI
屈新萍
作品数:99被引量:71H指数:5
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 硅化物
蒋玉龙
作品数:47被引量:37H指数:3
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 金属栅 势垒 NISI 肖特基接触
顾志光
作品数:24被引量:36H指数:4
供职机构:复旦大学材料科学系
研究主题:固相反应 硅 氮化铝 固相 快速退火
黄维宁
作品数:35被引量:66H指数:5
供职机构:复旦大学
研究主题:铁电薄膜 铁电存储器 固相反应 铁电电容 MFIS