熊斌
作品数: 218被引量:195H指数:7
  • 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家重点基础研究发展计划

相关作者

王跃林
作品数:719被引量:795H指数:14
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
徐德辉
作品数:98被引量:23H指数:3
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 磁场传感器 键合 热电 干法刻蚀
车录锋
作品数:151被引量:307H指数:10
供职机构:浙江大学
研究主题:弹性梁 电容式加速度传感器 微机械陀螺 加速度传感器 硅
冯飞
作品数:115被引量:48H指数:4
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:色谱柱 热导检测器 固定相 微机电系统 气相色谱柱
马颖蕾
作品数:25被引量:6H指数:2
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弹性梁 硅 键合工艺 透镜 塑性形变