于毅
作品数： 10被引量：29H指数：3
  • 所属机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家重点基础研究发展计划

相关作者

任天令
作品数：426被引量：350H指数：10
供职机构：清华大学
研究主题：铁电 电极 铁电薄膜 铁电存储器 PZT
刘理天
作品数：623被引量：885H指数：12
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
赵宏锦
作品数：13被引量：33H指数：3
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：硅基 氮化铝薄膜 刻蚀 直流磁控反应溅射 ALN薄膜
高占友
作品数：1被引量：13H指数：1
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：ALN薄膜 氮化铝薄膜 硅基 直流磁控反应溅射
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