康西巧
作品数: 14被引量:14H指数:3
  • 所属机构:中国科学院光电技术研究所
  • 所在地区:四川省 成都市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

罗先刚
作品数:663被引量:306H指数:8
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 表面等离子体 掩模 金属
陈旭南
作品数:175被引量:168H指数:7
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 原子束 微细图形 光刻 投影光刻物镜
石建平
作品数:110被引量:86H指数:5
供职机构:安徽师范大学
研究主题:原子束 光子晶体 光刻分辨力 金属薄膜 纳米结构制作
姚汉民
作品数:175被引量:243H指数:8
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
李展
作品数:56被引量:155H指数:8
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:原子束 星敏感器 微细图形 原子光刻 遮光罩