李冬梅
作品数: 146被引量:13H指数:2
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:自动化与计算机技术
  • 发文基金:国家重点基础研究发展计划

相关作者

刘明
作品数:1,366被引量:408H指数:11
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
谢常青
作品数:507被引量:262H指数:8
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 光刻 存储器
梁圣法
作品数:53被引量:6H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:敏感膜 柔性衬底 气体传感器 采样器 压缩采样
霍宗亮
作品数:366被引量:25H指数:3
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 沟道 闪存 介质层 电压
朱效立
作品数:155被引量:125H指数:6
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底