李建军
作品数: 18被引量:18H指数:3
  • 所属机构:沈阳真空技术研究所
  • 所在地区:辽宁省 沈阳市
  • 研究方向:一般工业技术

相关作者

黄英
作品数:41被引量:202H指数:10
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:工程图学 图学教育 磁控溅射 工程图学课程 直流磁控溅射
张以忱
作品数:207被引量:265H指数:9
供职机构:东北大学
研究主题:真空 真空系统 真空技术 磁控溅射 非平衡磁控溅射
韩晶雪
作品数:3被引量:13H指数:3
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:抽速 MONTE_CARLO方法 MONTE_CARLO MATLAB 干式
常亮
作品数:2被引量:4H指数:1
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:磁场强度 直流磁控溅射 阴极电压 抽速 干式
宋青竹
作品数:21被引量:12H指数:2
供职机构:沈阳真空技术研究所
研究主题:冷坩埚 磁控溅射 膜厚均匀性 仿真 过热度