于欣蕾
作品数： 6被引量：21H指数：3
  • 所属机构:山东大学电气工程学院
  • 所在地区:山东省 济南市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:山东省自然科学基金

相关作者

魏强
作品数：65被引量：179H指数：8
供职机构：泰山学院
研究主题：精密工作台 扫描隧道显微镜 压电陶瓷 神经网络 电子束光刻
张玉林
作品数：103被引量：224H指数：9
供职机构：中国石油大学（华东）
研究主题：电子束 电子束光刻 微机电系统 抗蚀剂 聚合酶链式反应
宋会英
作品数：26被引量：132H指数：7
供职机构：中国石油大学（华东）
研究主题：电子束光刻 邻近效应校正 扫描隧道显微镜 MONTE 二次电子
卢文娟
作品数：22被引量：51H指数：4
供职机构：山东大学
研究主题：电子束 电子束光刻 抗蚀剂 扫描隧道显微镜 电子束曝光
郝慧娟
作品数：22被引量：42H指数：3
供职机构：山东省计算机网络重点实验室
研究主题：电子束光刻 扫描隧道显微镜 邻近效应校正 电子束 精密工作台
作品列表