何伟
作品数： 3被引量：6H指数：2
  • 所属机构:同济大学
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家攀登计划

相关作者

沈蓓军
作品数：15被引量：14H指数：3
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：微机械 光刻 微细加工 LIGA 准分子激光
路敦武
作品数：48被引量：121H指数：5
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻 光学 敏感区 散射光 在线检测装置
王德林
作品数：7被引量：22H指数：3
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：V棱镜折射仪 光电倍增管 角度编码器 折射率测量 高功率激光系统
杨良民
作品数：9被引量：10H指数：3
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：微机械 接近式光刻 光刻分辨率 分辨率 准分子激光光刻
黄惠杰
作品数：486被引量：627H指数：16
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
作品列表