卢增雄
作品数： 78被引量：47H指数：5
  • 所属机构:中国科学院光电研究院
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家科技重大专项

相关作者

齐月静
作品数：102被引量：38H指数：3
供职机构：中国科学院光电研究院
研究主题：波像差 哈特曼波前传感器 投影物镜 光学系统 准直物镜
王宇
作品数：304被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院光电研究院
研究主题：准分子激光器 分子激光器 激光 波像差 分压
苏佳妮
作品数：59被引量：6H指数：1
供职机构：中国科学院光电研究院
研究主题：波像差 哈特曼波前传感器 光学系统 准直物镜 投影物镜
齐威
作品数：66被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院光电研究院
研究主题：哈特曼波前传感器 准直物镜 光源 波像差 哈特曼传感器
杨光华
作品数：47被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院光电研究院
研究主题：哈特曼波前传感器 波像差 光源 光学系统 光刻机
作品列表