宋毅
作品数： 16被引量：2H指数：1
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信

相关作者

徐秋霞
作品数：366被引量：63H指数：4
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
周华杰
作品数：62被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属栅 鳍片 自顶向下 沟道效应 硅化
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