张锦文
作品数: 51被引量:138H指数:6
  • 所属机构:北京大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家重点基础研究发展计划

相关作者

金玉丰
作品数:158被引量:86H指数:5
供职机构:北京大学深圳研究生院
研究主题:通孔 键合 硅 MEMS 真空封装
郝一龙
作品数:235被引量:413H指数:11
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS 微机电系统 硅 微电子机械系统 英文
林晨
作品数:59被引量:61H指数:4
供职机构:北京大学
研究主题:激光 质子束 毛细管 金刚石 弧光放电
缪旻
作品数:136被引量:68H指数:3
供职机构:北京信息科技大学
研究主题:通孔 TSV 系统级封装 硅 微机械
王阳元
作品数:465被引量:773H指数:13
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路