戴凤钊
作品数： 36被引量：62H指数：6
  • 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:理学
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

王向朝
作品数：828被引量：1,373H指数：19
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
唐锋
作品数：217被引量：106H指数：7
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
李杰
作品数：36被引量：25H指数：3
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 投影物镜 剪切干涉 剪切干涉仪 子孔径拼接
张敏
作品数：25被引量：92H指数：6
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：测量方法 光阑 像差 干涉仪 面形
步扬
作品数：159被引量：274H指数：10
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
作品列表