张泽芳
作品数: 8被引量:17H指数:2
  • 所属机构:上海大学
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

雷红
作品数:91被引量:317H指数:11
供职机构:上海大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 抛光 磨粒 组合物
卢海参
作品数:8被引量:24H指数:4
供职机构:上海大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 CMP 氧化铝 波纹度
肖保其
作品数:7被引量:37H指数:2
供职机构:上海大学
研究主题:抛光液 化学机械抛光 高精密 CMP 抛光
张鹏珍
作品数:8被引量:29H指数:3
供职机构:上海大学
研究主题:化学机械抛光 计算机硬盘 抛光液 纳米氧化铈 超精加工
刘平
作品数:8被引量:0H指数:0
供职机构:上海大学
研究主题:抛光 氧化铝 划痕 磨粒 氧化铁