-
赵珉
-
![](/images/user-pic.gif)
-
![](/images/index-lm-pic2.jpg)
- 所属机构:湛江师范学院信息科学与技术学院
- 所在地区:广东省 湛江市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划
相关作者
- 陈宝钦
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:198被引量:257H指数:9
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束
- 刘明
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:1,341被引量:397H指数:11
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
- 牛洁斌
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:131被引量:73H指数:5
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:电子束光刻 衬底 电子束曝光 电子束直写 衍射光栅
- 朱效立
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:155被引量:121H指数:6
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
- 谢常青
![](/images/user-pic.gif)
- 作品数:502被引量:255H指数:7
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底