顾忠华
作品数： 43被引量：5H指数：1
  • 所属机构:清华大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国际科技合作与交流专项项目

相关作者

潘国顺
作品数：167被引量：272H指数：11
供职机构：清华大学
研究主题：抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
龚桦
作品数：28被引量：16H指数：2
供职机构：清华大学研究院
研究主题：化学机械抛光 抛光 硅晶片 抛光液 二氧化硅溶胶
陈高攀
作品数：20被引量：4H指数：1
供职机构：清华大学研究院
研究主题：抛光液 抛光 离子交换法 机械抛光 化学机械抛光
邹春莉
作品数：15被引量：18H指数：2
供职机构：清华大学研究院
研究主题：抛光 化学机械抛光 磨粒 硅晶片 CMP
罗桂海
作品数：20被引量：13H指数：2
供职机构：清华大学研究院
研究主题：抛光 抛光液 硅晶片 化学机械抛光 划痕
作品列表