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刘兴明
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- 所属机构:清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:创新研究群体科学基金
相关作者
- 刘理天
- 作品数：623被引量：888H指数：12
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- 研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
- 韩琳
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- 方华军
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