沈路
作品数： 15被引量：5H指数：1
  • 所属机构:中国电子科技集团第十三研究所
  • 所在地区:河北省 石家庄市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

杨拥军
作品数：171被引量：236H指数：9
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 微机械 硅 传感器
李博
作品数：28被引量：38H指数：3
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：微电子机械系统 MEMS陀螺仪 角速度 MEMS MEMS器件
何洪涛
作品数：47被引量：61H指数：5
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 硅 芯片 微电子机械
卞玉民
作品数：18被引量：76H指数：6
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所
研究主题：MEMS 微电子机械系统 绝缘体上硅 硅 MEMS加速度传感器
李妤晨
作品数：99被引量：7H指数：2
供职机构：西安科技大学
研究主题：BICMOS 应变SI 双极器件 淀积 多晶
作品列表