李大勇
作品数： 9被引量：1H指数：1
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家重点基础研究发展计划

相关作者

刘明
作品数：1,357被引量：401H指数：11
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
欧毅
作品数：139被引量：100H指数：5
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：氮化硅薄膜 刻蚀 MEMS 牺牲层 微机电系统
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