郭垒
作品数： 4被引量：1H指数：1
  • 所属机构:清华大学
  • 所在地区:北京市

相关作者

路新春
作品数：349被引量：349H指数：11
供职机构：清华大学
研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
沈攀
作品数：63被引量：1H指数：1
供职机构：清华大学
研究主题：晶圆 修整器 化学机械抛光 机械手 修整
叶佩青
作品数：302被引量：1,471H指数：22
供职机构：清华大学
研究主题：数控系统 直线电机 数控机床 多叶光栅 叶片
张辉
作品数：306被引量：339H指数：10
供职机构：清华大学
研究主题：直线电机 多叶光栅 CMP 公共建筑 调适
赵彤
作品数：107被引量：372H指数：11
供职机构：清华大学
研究主题：机床 卷绕成形 数控系统 插补 丝杠
作品列表