刘国文
作品数: 67被引量:2H指数:1
  • 所属机构:北京航天控制仪器研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:自动化与计算机技术
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

刘福民
作品数:106被引量:5H指数:1
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:键合 电极 MEMS加速度计 晶圆 刻蚀
刘宇
作品数:54被引量:8H指数:2
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:键合 晶圆 三明治 加速度计 MEMS加速度计
徐宇新
作品数:91被引量:42H指数:4
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:加速度计 电极 硅 MEMS加速度计 全硅
徐杰
作品数:25被引量:4H指数:1
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:应力释放 传感器 MEMS加速度计 弹性梁 过载
王学锋
作品数:434被引量:224H指数:7
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:气室 原子 光纤 磁力仪 陀螺仪