滕宇
作品数： 49被引量：2H指数：1
  • 所属机构:北京七星华创电子股份有限公司
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:文化科学
  • 发文基金:国家科技重大专项

相关作者

吴仪
作品数：163被引量：3H指数：1
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶片 卡盘 晶圆 夹持 半导体晶片
李伟
作品数：47被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：出口 二相流 卡盘 液体流 硅片
黄金涛
作品数：7被引量：0H指数：0
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：超声波 压电材料 共振腔 石英 声波
陈洁
作品数：3被引量：2H指数：1
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：液膜 氮气 硅片表面 单片 去离子水
冯晓敏
作品数：17被引量：2H指数：1
供职机构：北京七星华创电子股份有限公司
研究主题：晶圆 射孔 静电 清洗方法 气体
作品列表