-
孙小孟
-
-
- 所属机构:中国科学院微电子研究所
- 所在地区:北京市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 李勇滔
- 作品数:197被引量:21H指数:3
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:硅衬底 等离子体 SUB 射频电源 离子注入
- 夏洋
- 作品数:500被引量:53H指数:3
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
- 李英杰
- 作品数:59被引量:60H指数:5
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:射频电源 射频 功率放大电路 功率检测器 供电线路
- 秦威
- 作品数:33被引量:13H指数:2
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:射频电源 阻抗匹配网络 功率放大电路 射频 供电线路
- 赵章琰
- 作品数:79被引量:90H指数:6
- 供职机构:中国科学院微电子研究所
- 研究主题:控制部件 表面肌电信号 半导体制造技术 射频电源 控制系统