李静平
作品数: 41被引量:21H指数:3
  • 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:理学
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

朱美萍
作品数:154被引量:80H指数:6
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:镀膜 激光损伤 色散 宽带 膜系
邵建达
作品数:976被引量:1,462H指数:17
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:激光损伤 激光损伤阈值 光学薄膜 光学元件 面形
易葵
作品数:339被引量:468H指数:12
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:镀膜 多层膜 激光损伤 色散 镀膜机
孙建
作品数:62被引量:22H指数:3
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:镀膜 膜系 色散 激光 超快激光
王建国
作品数:65被引量:7H指数:2
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:镀膜 膜系 色散 超快激光 激光损伤
综合沉积镀膜设备及综合镀膜方法
一种电子束蒸发、离子束辅助与离子束溅射综合沉积镀膜设备及综合镀膜方法,设备包括由左电子枪坩埚、右电子枪坩埚、离子源辅源、离子源主源、溅射靶材和夹具盘组成的综合沉积系统。本发明结合了电子束蒸发沉积技术、离子束辅助沉积技术及...
朱美萍曾婷婷邵建达易葵孙建李静平王建国张伟丽
一种大尺寸光学元件镀膜夹具和装夹方法
一种大尺寸光学元件的镀膜夹具及装夹方法,所述的镀膜夹具包括框架结构和方形支撑结构,方形支撑结构四边各由支撑板、缓冲条、加强筋、定位块和螺栓组成,加强筋、缓冲条、支撑板和定位块设有多个螺栓通孔,框架结构内侧面具有多个螺栓通...
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抑制氧化铪薄膜折射率非均匀性的方法
一种抑制氧化铪薄膜折射率非均匀性的方法,在制备含有氧化铪膜层的多层光学薄膜时,镀制氧化铪的同时掺入氧化硅材料一同镀制形成氧化铪‑氧化硅混合膜层,抑制纯氧化铪膜层的折射率非均匀性,进而改善由于氧化铪膜层折射率非均匀性导致多...
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文献传递
基于类三明治结构界面和复合材料的二向色镜及其制备方法
一种基于类三明治结构界面和复合材料的二向色镜及其制备方法。利用电子束蒸发技术同时沉积折射率大于1.8的材料A和光学带隙大于6.0eV的材料B形成复合材料取代常规二向色镜薄膜中的单一高折射率材料作为高折射率膜层H,利用单一...
朱美萍刘天宝李静平李大伟刘晓凤赵元安邵建达
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基于复合材料的平板型激光分束膜及其设计方法
一种基于复合材料的平板型激光分束膜及其设计方法,基于给定的规整膜系结构,利用折射率大于1.8的单一材料A和光学带隙大于6.0eV的单一材料B分别与单一低折射率材料C设计激光分束膜,计算实现目标透射率所需的膜系结构中膜层周...
朱美萍杜文云李静平赵泽成刘天宝易葵邵建达
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磁控溅射元件镀膜膜厚分布修正的挡板设计方法
一种磁控溅射元件镀膜膜厚分布修正的挡板设计方法,通过建立磁控溅射系统元件镀膜膜厚分布模型,设计以高斯曲线为基础的复合高斯型轮廓的修正挡板。本发明针对磁控溅射系统中面源靶材的复杂产额分布,可借助计算机进行自动优化并根据元件...
孙建陈上林朱美萍李静平王陈飞邵建达
ICF激光驱动装置用大尺寸激光薄膜元件被引量:1
2024年
大尺寸高功率激光薄膜元件是我国神光系列等大型激光装置中的关键元件,常采用电子束蒸发技术,在高质量光学玻璃基底表面,通过交替沉积两种或多种材料制备而成。典型的高功率激光薄膜元件需具有特定的光谱性能以满足激光系统的光束传输需求,优良的力学性能以最小化波前畸变,高的激光损伤阈值以保障高功率激光装置的安全稳定运行。基于大尺寸高功率激光薄膜元件的关键性能,在调研国内外相关研究工作的基础上,重点介绍了近年来本实验室在大尺寸高功率激光薄膜的高精度膜层厚度和膜层应力控制、激光诱导薄膜损伤机理和激光薄膜损伤阈值提升技术等方面的主要研究进展,最后对该方向的研究进行了简要的总结与展望。
朱美萍孙建李静平易葵邵建达
关键词:激光薄膜高功率激光光谱性能激光损伤阈值
单斜相HfO_2薄膜弹性常数的第一性原理计算被引量:4
2013年
用电子束蒸发沉积在K9玻璃基底上镀制HfO2薄膜,沉积温度为200℃,蒸发速率为0.03nm/s。由X射线衍射谱可知薄膜出现明显结晶,且为单斜相和正交相混合结构,其中单斜相占明显优势。用Jade5软件分析得到单斜相HfO2的晶格常数a,b,c以及晶格矢量a和c之间的夹角β。基于得到的晶格常数建立了单斜相HfO2薄膜的晶体结构模型。同时建立固态单斜相HfO2的晶体结构模型进行对比。通过密度泛函理论(DFT)框架下的平面超软赝势法,采用两种不同的交换关联函数:局域密度近似(LDA)中的CA-PZ和广义梯度近似(GGA)中的质子平衡方程(PBE),计算了薄膜态和固态单斜晶相HfO2的弹性刚度系数矩阵Cij和弹性柔度系数矩阵Sij,Reuss模型、Voigt模型和Hill理论下的体积模量和剪切模量,材料平均杨氏模量和泊松比。此外还计算得到薄膜态和固态单斜晶相HfO2在不同方向上的杨氏模量。
蔺玲邵淑英李静平
关键词:HFO2薄膜第一性原理
一种基于去噪网络的紧凑型高光谱成像方法
一种基于去噪网络的紧凑型高光谱成像方法,所述方法包含以下步骤:构建并训练光谱感知网络,从中提取去噪网络;对目标和标定板分别进行成像光谱编码,根据标定板上光强分布修正目标光强图像;采用标定后的光强图像并行输入去噪网络中,重...
朱美萍郝凌云杨陈楹李静平温俊仁史伟名
提升电子束蒸镀薄膜元件的光谱和应力时效稳定性的镀膜方法
采用常规电子束蒸镀和等离子体辅助沉积相结合的技术,提出一种提升电子束蒸镀薄膜元件光谱和应力时效稳定性的镀膜技术。利用常规电子束蒸镀技术制备功能性薄膜,以获得较高的抗激光损伤阈值;利用等离子体辅助沉积技术制备致密的外层包裹...
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