李俊杰
作品数： 190被引量：3H指数：1
  • 所属机构:中国科学院微电子研究所
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

李俊峰
作品数：521被引量：7H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
王文武
作品数：412被引量：13H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 刻蚀 纳米线 半导体
杨涛
作品数：238被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：刻蚀 衬底 半导体器件 化学机械平坦化 牺牲层
高建峰
作品数：118被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：刻蚀 半导体器件 沟道 牺牲层 衬底
李永亮
作品数：222被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 半导体 晶体管 源区
作品列表